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 CKDは,小型の流量コントローラ「FCMシリーズ」を発売した。従来から販売している流量センサ「ラピフローFSMシリーズ」に流量制御機能を加えたもの。同様の機能を持つ他社製品と比べて,体積が1/3,質量が1/5と小型で軽量なのが特徴だ。空気の流れを整えるのに必要な配管を,これまでのものより短くして,流量スペースを小さくした。空気や窒素,酸素,都市ガスなどの流量を0.5秒で制御できる。価格は8万円から。

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