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 ルネサス テクノロジは,地球温暖化の原因となるPFCガスの削減ロードマップなどを定めた「環境レポート 2005」を制作した(ニュース・リリース)。PFCガスはウエハーのクリーニングやエッチングに用いる気体で,温暖化係数はCO2の数千倍~数万倍と大きい。同社は,2007年までにPFCガスの排出量を1995年比で90%以下に削減する目標を掲げた。これは,半導体業界の削減目標より3年前倒しとなる。同社によれば,PFCガスの購入量は2007年に1995年の約4倍となる見込みだが,PFCガス分解除害装置の導入などで排出量の削減を見込むという。

2005年末の100%鉛フリー化へ地道な工夫を重ねる

 このほかルネサス テクロノロジは,同社の製品すべてを2005年末までに鉛フリー化する方針を改めて表明した。「製造ラインへ地道に投資を行い,鉛フリー化の道筋をつけた。品質についても10年~15年は保証できる」(同社 ルネサス テクノロジ 環境安全推進室 エクゼクティブの檜垣孝志氏)

 現在の同社の生産ラインでは,鉛フリー製品向けのラインと,鉛を使用するラインを分けている。将来鉛フリー製品が大半を占めるようになれば,鉛フリー製品とそれ以外の製品を同じラインで混流生産する予定という。「混流生産する際には,鉛フリー工程に鉛が混入しないようにするため地道な工夫が要る。例えば,メッキの材料となる金属チップの大きさを鉛フリー用と鉛混入用で変えることで,材料の取り違えを防ぐ」(同社 環境安全推進室 室長の大高成雄氏)。RoHS規制の対象外となる一部の自動車向け半導体については,信頼性の確保のため鉛を使用した製品を生産することになるという。