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 プレーナ(平面)構造のCMOSデバイスはどこまで延命できるのか。この長年の命題に対し,次のような指摘が増えてきた。「32nmノード(hp45)まではプレーナを延命できるが,次の22nmノード(hp32)からは非プレーナ(立体)構造が必須になる」。現在,LSI各社はプレーナCMOSを極限まで延命するために力を振り絞っているが,一部では非プレーナへの準備を着々と進めている。プレーナから非プレーナへの移行をどのタイミングで進めるのか,LSIメーカーの決断力が問われる。

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