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 イオン打ち込み装置大手の米Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.(VSEA)は,エルピーダメモリから10台以上の枚葉式イオン打ち込み装置を受注した。このうち複数台が,2005年12月の稼働を控える広島エルピーダメモリ敷地内の新300mmウエーハ対応ラインおよび既存の300mm対応ラインに搬入済みである。残りは今後数カ月以内に搬入する。

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