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 スター精密は,圧電素子を用いたダイヤフラム方式のマイクロポンプ「SDMP305」を開発した。モータや回転軸を使わずに圧電素子を駆動源としているため,消費電力が少なく,騒音や電磁ノイズを抑えられる。最大流量は,5mL/分。駆動電圧や駆動周波数を変えることによって,流量や吐出圧を調整できる。

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