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 日本精工は,耐久性が高くて真空環境を汚染しにくい潤滑皮膜処理技術「E-DFO」を開発した。この技術は,ボールねじや転がり軸受などのボール軌道面に潤滑油と吸着物質から成る潤滑皮膜を加工するもの。皮膜の耐久性を,従来の技術「V-DFO」の最大20倍にすると同時に,真空環境の汚染を半分以下に抑えた。同処理を施した真空装置用のボールねじやリニアガイド,転がり軸受を2005年9月に発売する。

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