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 微細化は着々と進み,プロセス開発は華々しい。しかし評価・解析技術がついていかないという問題が顕在化している。このままでは評価・解析がボトルネックになり, 微細化そのものがスローダウンする恐れさえある。大分大学工学部 電気電子工学科・電子デバイス工学 教授で,元ルネサス テクノロジ生産技術本部解析技術開発部の益子洋治氏は,このように訴える。

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