液晶パネルの製造は，昨年後半より第6世代の製造ラインが稼働し始め，スリット・コーターの導入が進んでいる。スリット塗布方式に特有の塗布ムラについて紹介するとともに，塗布ムラ解決手法についても解説する。また，低温多結晶Si-TFT液晶パネル製造用i線露光用レジストの製造ラインへの適用の動きが活発になってきている。i線露光用レジストについて，ノボラック系レジストを中心に化学増幅型レジストと比較する。さらに，直材用レジストとして有機EL用途および平坦化絶縁膜用材料についても説明する。本講演では，フォト・レジストの基礎的な内容についても解説するため，フォト・レジストを扱い始めた方にも適した内容となっている。
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