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 韓国Samsung Electronics Co., Ltd.は,米国の半導体研究開発コンソーシアムであるInternational SEMATECHに参画する。Samsungから技術者数名が出向する。45nmノード(hp65)以降の露光技術である液浸ArF露光やEUV(extreme ultra violet)露光のほか,ゲート絶縁膜向け高誘電率(high-k)材料や層間絶縁膜向け低誘電率(low-k)材料などの新規材料の開発プログラムに参加する。

 Samsungは2005年4月に,SEMATECHの傘下組織であるInternational SEMATECH Manufacturing Initiative(ISMI)に加入していたが,SEMATECH本体の開発プログラムに加わるのは今回が初めてとなる。ISMIは2004年にSEMATECHの子会社として発足したコンソーシアムで,半導体工場の生産性向上やウエーハ当たりのコスト削減などを目指した開発を進めている(Tech-On! 関連記事1)。SEMATECHおよびISMIには,米Intel Corp.,独Infineon Technologies AG,台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.(TSMC),松下電器産業などが参加している。

 なお,SamsungはSEMATECHのほかに,半導体先端テクノロジーズ(Selete)や,ベルギーIMEC,米IBM Corp.などが主導する「Albany NanoTech」といった研究開発コンソーシアムに参加している(Tech-On! 関連記事2Tech-On! 関連記事3)。