スター精密は,圧電素子を用いたダイヤフラム方式のマイクロポンプ「SDMP301」を開発した。ポンプとモータや回転軸を使わないため,消費電力が少ない。駆動電圧や駆動周波数を変えることによって,流量や吐出圧を調整できる。最大流量は1.5mL/分で,最大ポンプ圧力は55kPa。
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