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大日本スクリーン製造（DNS）は，液浸露光技術に対応する塗布・現像装置「RF3i」を2006年2月に発売する（リリース）。液浸対応に必要な洗浄および乾燥機能を搭載した。価格は4億～6億円，2006年度に10台程度の販売を見込む。

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