台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.(TSMC)とNational Chiao-Tung Universityの共同グループは,米国Washington D.C.で開催中の「2005 IEDM」で,従来SOI(silicon on insulator)基板に形成することがほとんどだったFin FET構造のSONOS型フラッシュ・メモリーをバルクSi基板に形成した結果を報告した(講演番号7.1)。ゲート長が20nmの場合に10μsでデータを書き込めること,および2ビット/セルに多値化できることを実証した。
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