日本精工は,水や酸,アルカリといった環境下で使用できる軸受「ステンレス製自動調心玉軸受」シリーズを「セミコン・ジャパン2005」(2005年12月7~9日,千葉・幕張メッセ)に出展した。これは,クリーン環境や真空下,高/低温下での使用に向く「スペーシア軸受」シリーズに追加するもの。同軸受の使用によって,洗浄工程で使う搬送設備用軸受などのメンテナンス期間を延ばせる。
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