MEMS技術を手掛けるベンチャー企業の米SiTime Corp.は，セミコン・ジャパン2005と併催の「第9回 SEMIマイクロシステム/MEMSセミナー」において，Si発振器の開発を進めていることを明らかにした。Si発振器とは，Siチップ上にMEMS技術で共振器を作り込み，これを利用して周波数発振器を構成したもの。SiTime社によると，Si発振器は既存の水晶発振器に比べて高い精度や信頼性を得られるほか，実装面積の削減，部品コストの低減につながるとしている。
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