ブサーク アンド シャンバンは，長寿命化を図った高純度パーフロロエラストマー材「Isolast J9670」を「セミコン・ジャパン2005」の同社ブースに展示した。Isolast J9670は，耐薬品性，耐プラズマ性，ドライプロセス工程における耐ガス性，耐熱性（最高315℃）を備えており，高温プラズマ・プロセス装置，ドライ・プラズマエッチング装置，PVD(物理的気相成長)装置，CVD(化学的気相成長）装置などのシーリング材などに使える。
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