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UV熱処理装置「SOLA」
UV熱処理装置「SOLA」
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四つの処理チャンバを使う
四つの処理チャンバを使う
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 米Novellus Systems, Inc.は,UVランプによる熱処理で薄膜材料を改質する装置「SOLA」の詳細を明らかにした。

 この装置の用途は大きく二つある。一つは,ひずみSi技術に使われるSiNキャップ層の応力を増加させる用途である。これは主に65nmノード(hp90)から使われる。もう一つは,低誘電率(low-k)膜に含まれるポロジェンを除去して膜をポーラス化する用途である。これは45nmノード(hp65)で主に使われる。

 最大の特徴は,四つの処理チャンバを使って1枚のウエーハを4回処理する「MSST(Multistation Sequential Treatment)」と呼ぶ技術を使っていることである。1回の処理ごとにウエーハを90度回転させるので,ランプの配置による処理バラつきを抑制できる。

 また,今回の装置を単体で販売する点も特徴である。他社では成膜装置と一体化した形で提供しているが,Novellusでは分けて販売した方がプロセスを個別に最適化でき,コストも下げられると主張している。さらに,単体で装置を販売することによって,今回提案した二つの用途以外の使い方が,ユーザーによって見いだされる可能性があるとしている。装置価格は200万米ドルである(リリース)。