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 LSIプロセス技術は専門化が進み,各担当分野の技術者しか装置性能を理解できない状況が増えてきた。本誌で取り上げる装置性能がLSIにどのような影響をもたらすか解説してほしいとの声が読者から寄せられている。今回の連載はこうした要望に応え,プロセス装置技術の理解を深めることが目的となる。教科書との大きな違いは,技術候補を単に羅列するだけではなく,本命技術を浮き彫りにすることにある。3月号以降,LSIに大きな影響を与えるプロセス装置技術について,各分野の専門家がその重要性と将来像を解説する。

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