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 日本精工は,クリーン環境下での搬送機用途向けに開発したアクチュエータ「クリーン環境用高速直動アクチュエータ」を2006年8月に発売する。発じんを抑える新たな吸気構造を開発することで,高速駆動を実現した。粒子径が0.3μm以上のちりが1ft3の空気中に30個以下である「クラス10」の環境下で,1200mm/秒で駆動する。

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