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扱いやすくした電子顕微鏡
扱いやすくした電子顕微鏡
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 日本電子は,新開発の制御システムを採用することで操作しやすくした電界放出型電子顕微鏡「JEM-3100F」の販売を始めた。半導体製品や材料の基礎研究や開発,検査,欠陥解析などに使える。走査像観察装置やエネルギ分散型X線分析装置と組み合わせることで,nmオーダーの微小領域元素分析装置にもなる。価格は2億3000万円。

 分解能は0.17nmで「世界最高性能」(同社)。5軸モータ駆動のゴニオメータステージを採用しており,位置決め精度が高い。300kVという高加速電圧を有しており,収束イオンビームなどで切り出した比較的厚い半導体資料を高速で検査できるため,製造プロセスの評価にも向くとしている。