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新工場の完成イメージ。延床面積は9000m2を計画する。
新工場の完成イメージ。延床面積は9000m2を計画する。
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 Siウエーハ洗浄装置大手の大日本スクリーン製造は,洗浄装置の新工場「Fab.FC-2」を2006年11月に稼働させる(リリース)。すでに同社の彦根地区事業所(滋賀県彦根市)の敷地内に着工している。300mmウエーハ対応装置のほか,次世代の450mmウエーハ対応装置の製造設備を備える工場とする計画である。

 新工場の建設は,「デジタル家電やメモリー・カードの需要,BRICs市場の拡大などがけん引する大手デバイス・メーカーの持続的な投資に対応するもの」(同社)。新工場の稼動によって,同じ敷地内にある「Fab.FC-1」と合わせた同社の洗浄装置の製造能力は,現状の2倍に拡大するという。新工場の工期が約半年と短い理由は,「Fab.FC-1と施設の一部を共有するとともに,コンセプトや基本設計を踏襲して建設するため」という。総工費は27億円を見込む。