液浸露光の国際会議，量産目前の成果続出，水液浸の“次”を探る動きも

　液浸露光技術の国際会議「3rd International Symposium on Immersion Lithography」の本会議が10月3日，京都で始まった。参加者は360名を越え，液浸実用化の熱気と共に，水を使った液浸の“次”を探る動きが中心となっている。