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　MEMS（micro electro mechanical systems）向け基板の2010年の市場は，2005年に比べて2倍以上に拡大すると，われわれは予測している。基板を材料別に見ると，Siのほか，水晶，ガラス，SOI（silicon on insulator），高分子（ポリマー）などがある。

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