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 MEMS(micro electro mechanical systems)向け基板の2010年の市場は,2005年に比べて2倍以上に拡大すると,われわれは予測している。基板を材料別に見ると,Siのほか,水晶,ガラス,SOI(silicon on insulator),高分子(ポリマー)などがある。

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