大型液晶テレビをターゲットとしたTFT液晶パネル生産ラインのガラス基板サイズ拡大化に伴い，FPDエッチング装置において多くの克服すべき課題が生じている。東京エレクトロン FPD事業部 ドライプロセス装置部 グループリーダーの平井 健之氏が，プラズマ均一性・エッチング性能の確保，異常放電の抑制等の技術的課題に加え，製造インフラストラクチャ，輸送制限を回避したユニット設計，より高度な安全性確保等に対する取り組みを明らかにする。
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