レーザーテックは，各種CAD（computer aided design）データ・フォーマットに対応した中大型用フォト・マスク・パターン欠陥検査装置「LI34/LI44」を開発した。フォト・マスク向けデータベース・フォーマット標準の「MEBES」に対応した大型フォト・マスク欠陥検査装置「51MD」シリーズの機能に加えて，各種CADデータ・フォーマット（DXF，Gerver，GDSなど）から検査データを生成できる機能を搭載した。このため，液晶パネル向け以外に，BGA（ball grid array）やプリント基板など幅広い分野のフォト・マスクの検査に使える。価格は約2億～3億円と低価格化も実現した。
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