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 レーザーテックは,各種CAD(computer aided design)データ・フォーマットに対応した中大型用フォト・マスク・パターン欠陥検査装置「LI34/LI44」を開発した。フォト・マスク向けデータベース・フォーマット標準の「MEBES」に対応した大型フォト・マスク欠陥検査装置「51MD」シリーズの機能に加えて,各種CADデータ・フォーマット(DXF,Gerver,GDSなど)から検査データを生成できる機能を搭載した。このため,液晶パネル向け以外に,BGA(ball grid array)やプリント基板など幅広い分野のフォト・マスクの検査に使える。価格は約2億~3億円と低価格化も実現した。

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