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 竹中工務店は±0.01℃の高精度で温度制御を実現する空調システムを開発し納入した。これまで半導体製造ラインでは±0.05℃の温度制御が一般的だった。さらに今回の空調システムは従来方式と同等のコストで,(1)約30%の省エネルギー化,(2)約60%の省スペース化,(3)約40%の工期短縮を実現しているという。また,空調システムからの電磁ノイズ発生の課題も解消した。

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