ニコンは，スループットを従来比で54％高めた i 線露光装置「NSR-SF150」を開発した（リリース）。300mmウエーハを180枚/時で処理できる。解像度は280nm，開口数（NA）は0.62，露光領域は26mm×33mmである。2007年第2四半期に販売を開始する。
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