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 ヒューグルエレクトロニクスは,1台で,半導体やフォトマスクの製造プロセスで使う密閉容器「SMIF POD」と8インチカセットを同時に洗浄できる自動洗浄装置「UPC-8350」を開発,2006年12月1日から受注を開始する。同装置は,国内外の8インチ半導体製造ラインで実績のある自動洗浄装置「UPC-8300」を大幅に改良したもの。SMIF PODと同時に使われることの多い8インチカセットを洗浄可能にしたことで,洗浄装置導入コストを大幅に削減できる。

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