検査装置メーカーのレーザーテックは，65nm世代以降の半導体製造に対応したマスク欠陥検査装置「MATRICS（Mask Transmission/Reflection Image Comparison System）シリーズ」を製品化し，12月から受注を開始する。位相シフトやOPC（光近接効果補正）を使った先端マスクを，低いランニング・コストで検査できるという。
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