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 検査装置メーカーのレーザーテックは,65nm世代以降の半導体製造に対応したマスク欠陥検査装置「MATRICS(Mask Transmission/Reflection Image Comparison System)シリーズ」を製品化し,12月から受注を開始する。位相シフトやOPC(光近接効果補正)を使った先端マスクを,低いランニング・コストで検査できるという。

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