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大日本スクリーン製造は,毎時300枚の300mmウエーハを処理可能な枚葉式ウエーハ洗浄装置「SU-3100」を発売した。同社従来品の「SU-3000」は毎時162枚を処理していたので,スループットは約2倍に向上した。

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