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 連載の最終回では,LSIの量産工場で使われている検査・解析装置を取り上げる。検査・解析装置はLSIの不良原因を究明し,歩留まりを早期に改善することが目的になる。ここで重要になるのが,不良を引き起こす物理現象をいかに可視化するかである。例えば,トランジスタのしきい電圧を制御するために,金属組成比のウエーハ面内分布を可視化する装置が45nm世代向けの量産ラインに続々と導入されている。こうした量産ラインにおける検査・解析装置の位置付けと,今後重要になる新しい解析技術の一端を紹介する。

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