既存のアモルファスSi(a-Si)TFT生産ラインに巨額の追加投資をすることなく,低温多結晶Si(p-Si)による回路内蔵型TFT液晶パネルの生産能力を引き上げることができる新しい製造技術を,日立ディスプレイと日立製作所研究開発本部が共同で開発した。日立ディスプレイズらが今回開発したのは,a-Si膜を形成後,その一部を低温で多結晶化する技術である。低温p-Si TFT生産ラインを新たに作る場合に比べて,設備投資額は「1/10で済む」(日立ディスプレイズ)と言う。
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