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 企業活動における地球温暖化対策の重要度が増す中で,電力などの使用量が多いLSI工場でのCO2排出量抑制を進める動きが活発化している。例えば東芝は,半導体製造装置と動力供給装置の省エネルギー化を積極的に進めている。こうした取り組みについて,同社が3月13日のNIKKEI MICRODEVICESセミナー「LSI工場革新~環境対応が競争力の源泉に~」で明らかにする。

 同社は,具体的には,技術施策の発案と評価のための「CO2排出量の可視化」,生産待機時の省エネルギーを目指した「非生産時におけるCO2排出量の削減」などを推進している。今回のセミナーでは,装置の実消費電力測定とシミュレーションに基づく工場全体の使用電力の予測結果を提示し,非生産時の省エネルギー策について説明する。同社 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター 生産技術企画部 企画担当 主務の矢島比呂海氏が解説する。