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 LSI工場の省エネルギー化に向けて,新たな試みが始まった。これまでのような設備関係者を中心とした取り組みが限界に近づいており,半導体メーカーや設備メーカー,装置・部材メーカーなどが連携して工場全体として実施しなければならない段階にきているからだ。

 LSI工場は,コストや性能を追求するための微細化や,多品種化など,省エネルギー化を阻害する多くの課題を抱えている。工場が抱えるこれらの課題と省エネルギー問題をどのようにとらえて解決すべきかについて,3月13日のNIKKEI MICRODEVICESセミナー「LSI工場革新~環境対応が競争力の源泉に~」で,STRJ(日本半導体技術ロードマップ委員会)のファクトリーインテグレーションWGなどが検討した内容を,NECエレクトロニクス プロセス技術事業部 シニアエキスパートの本間三智夫氏が紹介する。

同氏はさらに,工場の見える化の最新動向を示しながら,省エネルギーとの関係を今後の課題も含めて提示する。