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 LSI工場の理想は,生産変動に対応したエネルギー消費システムの構築である。しかし実際には,固定的なエネルギー消費が続いている。こうした現状からの脱却を目指す動きが,LSIメーカーの中から出てきた。

 例えばセイコーエプソンは,既存のLSI工場で外気条件の変動に合わせたエネルギー消費量の調整と廃熱の活用,管理の厳格化を目指している。さらに将来に向けては,製造装置や工場設備,工場運営の相互関係を考慮しながら,業界活動を通じて製造装置を中心とした省エネルギーのガイドライン構築を推進している。

 同社は,既存工場の省エネルギーへの取り組みと,業界活動を通じた将来への施策を,3月13日のNIKKEI MICRODEVICESセミナー「LSI工場革新~環境対応が競争力の源泉に~」で明らかにする。同社 半導体事業部 酒田事業所 IC・CS品質保証部(環境) 専任課長の遠峰徹氏が解説する。