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 LSI工場には,多数の「ムダの連鎖」が存在する。製造装置に供給するエネルギーのほとんどが熱となり,それを冷却するためにさらなるエネルギーを投入する。薬液やガスを排出するために無害化処理を施せば,新たに薬品やガスが必要になるだけではなく,エネルギーも費やされる。

ムダの連鎖が生じるのは,工場の基礎代謝量というべき必要最小限の投入量を知らずに,歩留まりだけを気にしながらムダを重ねているからである。製造装置を稼働させるためのエネルギーや生産品に残る材料に比べて,実投入量が際立って多いのである。

こうしたムダの連鎖を断ち切るための処方箋として,LCA(ライフサイクルアセスメント)手法を活用した工場の環境負荷低減対策を提唱するのが,ソニー 半導体事業本部 リスク・環境管理部 社会環境室 シニア・エンジニアの青山純一氏である。同氏は,その対策の内容と「見える化」の効果について,3月13日のNIKKEI MICRODEVICESセミナー「LSI工場革新~環境対応が競争力の源泉に~」で紹介する。