PR

 ニコンは,開口数(NA)1.30の液浸ArF露光装置「NSR-S610C」をLSIメーカー1社に出荷した(リリース)。NAが1.30以上の液浸露光装置の出荷は業界で初めてとする。

2007年度に20台程度の販売を計画

 NSR-S610Cはハーフピッチ45nmのメモリーや32nm世代のロジックLSIの量産に対応する(Tech-On!関連記事1)。ニコンは出荷先を明らかにしていないが,大手のNAND型フラッシュ・メモリー・メーカーと見られる。なお,ニコンは2006年12月に,台湾Powerchip Semiconductor Corp.(PSC)がこの装置の採用を決めたと発表しているが,今回の出荷はPSC向けではないとする(同2)。

 ニコンは2007年度に,今回1号機を出荷したNSR-S610Cを20台程度販売する計画である。NAが1.30以上の液浸露光装置としては,オランダASML社が開発したNA1.35の液浸ArF露光装置「XT:1900i」がある(同3)。ASMLはXT:1900iの出荷を2007年半ばに計画している。