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 マイクロフェーズは,2007年2月21日~23日に開催された「nano tech 2007」で,チタン表面にナノカーボンを成膜したチタン製の燃料電池用セパレータのパネル展示を披露した。現在,実用化されている燃料電池金属セパレータでは,耐食性に優れるチタンやステンレスを使用し,導電性を確保するため金メッキを施している。しかし,金には高価であることと,腐食につながるピンホールが形成されやすいという課題が存在する。今回開発した技術は,金メッキに替わってカーボンを使いチタン製セパレータの表面処理を行なうものである。

 ナノカーボン膜の形成は,気相化学成長法(CVD法)を使ったプロセスを使用している。数種類の炭化水素ガスを,熱CVD炉に同時に導入し,材料ガスの配合,流量,温度などの条件を制御することにより,カーボン膜の生成を可能とした。
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