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図1 透明電極にZnOを用いた青色LEDチップを点灯させた様子
図1 透明電極にZnOを用いた青色LEDチップを点灯させた様子
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図2 ZnO表面の比較
図2 ZnO表面の比較
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図3 特性を示した展示パネル
図3 特性を示した展示パネル
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 ジェネライツは,透明電極にZnOを利用した青色発光ダイオード(LED)チップを開発,試作品を展示した(図1)。ZnOはITOに比べて価格が安いことが特徴。「現時点ではITOを用いた場合の半額程度,量産すれば1/10にまでなると考えている」(同社)という。

 既に透明電極にZnOを用いたLEDチップを他社が開発している。「他社の開発品に比べてZnOをより平坦にしている。そのため透過率が高まった」(同社)という。同社品のZnO膜の凹凸は±0.数nm程度と,他社品に比べて1/10程度と説明する(図2)。その結果,従来のITOに比べて光出力は50~80%高まるとする。

 透明電極にZnOを採用した試作品のチップ・サイズは350μm角。発光層にはGaNとInGaNの多重量子井戸構造を採用する。20mAで駆動した場合,人間の目で感じる波長にあたるドミナント波長は497nmで,光出力は4~4.4mWである(図3)。

 課題はコンタクト抵抗が高く,順方向電圧が高いこと。20mA駆動時で3.9~4Vである。今後は現行の青色LEDチップと同程度の3.5V以下を目指すという。

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