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 JSRは,液浸ArF露光向けの高屈折率液体に関し,屈折率1.64を維持したまま,光の透過率を純水よりも高めることに成功した(リリース)。高屈折率液体の導入は液浸露光装置の解像度を高める手段として注目されているが,これまでは液体の透過率が低かったため,露光装置のスループットが低下する懸念があった。

 JSRはこれまでも屈折率1.65前後をターゲットとした高屈折率液体の開発を進めてきた(関連記事1同2)。ただ,屈折率の目標値は達成できても,波長193nmの光に対する透過率が純水のレベルに届かず,課題となっていた。

 今回JSRが開発した材料は透過率が99.5%/mmと純水の透過率99.2%/mmを超える。さらに今回の液体は,開発した一連の材料の中では酸素の吸収が少なく,大気にさらしても性能が安定しているという。また,蒸気圧が低いため熱分解が起こりにくく,実用化の際に必須となるリサイクル・システムに適しているとする。

 今後,装置メーカーや大手LSIメーカーの協力を得て実用化に向けた検討を続けるほか,上層保護膜や高屈折率レジストなどの開発,屈折率が1.7以上の高屈折率液体の開発も進める。技術の詳細は米国で開かれた露光技術の国際会議「SPIE Advanced Lithography 2007」で発表した。