PR

 米KLA-Tencor Corp.が日経マイクロデバイスのアンケートに答え,同社の300mm戦略を明らかにした。製造装置組み込み型の検査装置の開発と単体の検査装置の高精度化を推進し,これらをネットワークで接続した大規模管理システムの確立し,歩留まりの解析や改善を自動化していくとする。

 300mmウエーハ・ラインでは,0.13μm向け露光技術やCu配線技術といった新しいプロセスを導入され,各プロセスの枚葉化が進む。このため,200mmラインとは異なる歩留まり管理システムやロット管理システムが必要になるとする。さらに従来から続いくコスト削減要求に答えるため,モニター・ウエーハの低減や装置価格の上昇抑制が必要になる。

 これらの要求に答え,次のような取り組みを実施するという。製造装置に組み込める検査装置と測定装置を開発し,これらのデータを自動的にフィード・バックしたりフィード・フォアードしたりできるシステムを構築する。これらのシステムは,露光工程やCMP(化学的機械研磨)工程で特に有効とする。ただし,微小な欠陥に関しては単体の検査装置の高精度化を推進する。これらのデータは,ライン全体をつないだネットワークを構築し,全データを使った歩留まりの解析や改善を自動化していく。