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 米Therma-Wave, Inc.が,複数LSIメーカーの300ウエーハ・ライン向けに膜厚測定装置「Opti-Probe」と不純物導入量モニター「Therma-Probe」を受注したと発表した。いずれも複数台ずつを受注している。

 発表によれば,受注を獲得した複数LSIメーカーの中には米国のDSPメーカーとアジアのSiファウンドリ・メーカーが含まれている。受注額は合計12億円(1100万米ドルを110円/米ドルで換算)であることを明らかにした。製品出荷は2000年後半の予定している。

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