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 米Applied Mterials, Inc.(AMAT)が300mmウエーハ技術への注力を一層強化している。7月10日からサンフランシスコで開幕した「SEMICON West2000」の初日に記者発表会を開催,21品種の300mm対応新製品と300mmの世界最初の量産ラインになるトレセンティテクノロジーズからの受注を発表した。さらにSEMICON Westで最大規模を誇る同社の展示ブースの3/4以上を割いて300mm対応装置をズラリと並べた。

 21品種の新製品に関しては,これらをそろえたことで全LSIプロセスの80%をAMATの300mm対応装置で実施できるようになったと豪語する。さらに0.13μmルールまで対応でき,将来の微細化にも十分に対応できるとした。トレセンティテクノロジーズからの受注に関しては,複数の工程にまたがって0.18μmルールの300mm対応装置を受注したとする。製品出荷は2000年第3四半期から始まる予定である。

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