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 半導体製造装置・材料メーカーによる300mmウエーハ技術開発の着実な進展とゆるやかなビジネスの立ち上がり。これが7月10日からサンフランシスコで開幕した「SEMICON West2000」の各社の展示に見て取れた。

 技術開発に関しては,ほとんどのメーカーが当たり前のように300mm対応の製造装置や材料を出展した。300mm関連技術が同じく注目を集めた3年前のSEMICON Westでは先行メーカーだけの展示にとどまっていたことを考慮すると,「技術開発が着実に進展し,300mm関連のインフラストラクチャが整ってきた」(来場者)と言える。

 ビジネスに関しては,大手メーカーである米Applied Materials, Inc.や米Novellus Systems, Inc.が300mm関連製品を積極的にアピールしたのに対し,中堅メーカーは積極的にアピールするところと,300mm関連製品自体は展示しているものの積極的には300mmをアピールしないところに分かれた。この理由は,現在の商談は試作ライン関連が多く,ビジネスの主力である量産ラインの立ち上がりが2002~2004年になると見られているからである。中堅メーカーの中には,将来のビジネスである300mm関連より,目先のビジネスを優先して展示ブースのコンセプトをまとめたところがあった。