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 製造装置メーカーのソリューション・ビジネスが新しいフェーズに入ってきたことが, 7月10日からサンフランシスコで開幕した「SEMICON West2000」での記者発表や展示で見えてきた。

 米Applied Materials, Inc.などのソリューション・ビジネスで先行するメーカーは,記者発表や展示において,300mmウエーハ時代に向けて自社の製造装置に適した工場レイアウトや搬送システムを提案した。ソリューション・ビジネスは,これまで製造装置に適したプロセス・レシピの提供やプロセス・モジュールに合わせた製造装置群の一括提供などを実施してきたが,これらの製造装置に適した工場レイアウトや搬送システムの提案は今回が初めてである。300mmウエーハでは大口径化によって搬送システムの重要性が増すため,これに沿った形でソリューション・ビジネスの適用範囲を拡大したことになる。