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 ウエーハ浮上式の300mmウエーハ対応RTP(rapid thermal process)装置「Levitor 4000」をオランダASM International N.V.が製品化した。「SEMICON West2000」に出展すると同時に販売を開始した。

 この製品は,300mmウエーハの熱処理を実施する際,問題となるスリップの発生を抑えることができる。チャンバ内に入れたウエーハに上下から熱風を吹きつけ,この空気圧でウエーハを保持するため,従来の治具を使った方式のようにウエーハの特定個所だけに力が加わることがない。これまでの熱処理装置では,治具とウエーハの接点に発生する応力によって,熱処理時にスリップが発生していた。この装置の昇温速度は300℃/秒である。降温は別のチャンバにウエーハを移動させて実施する。スループットは160枚/時。