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 300mmウエーハ対応のウエーハ厚み測定装置「FN3001R」を富東産業が2000年5月に発売, 7月10日~14日に開かれた「SEMICON West2000」に出展した。厚みや反りを自動測定できる。

 この装置は,カセットの設置のみが手動で行う。測定はすべて自動化しており,非接触で測定する。また,150mmと200mmのウエーハに関してはカセットの設置も自動化している。価格は1500万円。同社では,200mm対応装置に対する300mm対応装置の価格が,現状では2倍になっている。これを2001年までに1.5倍に削減することを目指している。この製品に関する問い合わせ先は富東産業営業部,電話番号は03-5995-8621。