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 東京大学環境安全研究センターの戸野倉賢一助教授の研究グループは,半導体製造などに使用されるプラズマ装置などへの組み込みを想定し,微量ガスを高感度に測定できる技術を開発した。吸収分光法の原理を応用した技術で,従来の方式から検出感度を3ケタ以上向上させることに成功。サブppbレベルまでの微量ガスの濃度計測が可能となる。光源には,近赤外領域の通信用半導体レーザーを使用する。

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