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 測定精度と測定速度を飛躍的に高めた300mmウエーハに対応した開発用半導体テスタを,アジレント・テクノロジーが発売した。製品名は,「Agilent 4073A」。ウエーハ上のTEGを使って,トランジスタの漏れ電流やしきい電圧を測定し,製造工程を経たウエーハや製造プロセスの良否を判定する機器である。

 Agilent 4073Aは測定プローブで発生するものを含めたトータルなノイズのレベルを,従来の1/10に当たる10fA以下に抑えていることが特徴。また,pA以下のオーダのスポット測定の測定速度が従来機と比べて最大30倍になった。測定精度が高まったのは,プローブ・カードなどをAgilent 4073A専用に設計し直したことによる。プローブ・カードの再設計は,誘電吸収時間の短縮にもつながり,データ収集用のA-D変換器の性能向上とともに,測定速度の向上に寄与している。

 出荷開始は2000年11月上旬の予定。価格は3500万円より。

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