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 アジレント・テクノロジーは,通産2000台目の開発用半導体テスタを出荷したと発表した。開発用半導体テスタとは,ウエーハ上のTEGを使って,トランジスタの漏れ電流やしきい電圧を測定し,製造工程を経たウエーハや製造プロセスの良否を判定する機器である。DRAMなどLSIの製造プロセスの立ち上げや,Cu配線の製造プロセスの評価などに使う。2000台目の製品は台湾のUMC(United Microelectronics Corp.)に出荷した模様である。

 現在アジレント・テクノロジーは,開発用半導体テスタのシェアで第1位である。半導体メーカ間で製造委託が盛んになり,委託側と受託側で同一の開発用半導体テスタを利用する必要性が高まってきた。委託生産を早期に立ち上げるためには,開発用半導体テスタのデータや測定ソフトウエアの互換性が重要になるからだ。アジレント社は主要なユーザを足がかりにして,一気にシェアを高めていった。

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