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 300mmウエーハへの大口径化をキッカケに検査装置の製造装置への組み込みが始まりそうだ。工程ごとのプロセスの精密制御や個々の製造装置の管理のために,検査装置を製造装置に組み込むようにすべきであるとの意見がプロセス技術者や検査技術者から出ていた。しかし,これを実現するためには検査装置や製造装置を一新する必要があり,実際にはなかなか進んでこなかった。

 この検査装置の製造装置への組み込みを300mm化に合わせて実現しようとする動きが具体的に出てきた。「SEMICON West2000」では,米Applied Materials, Inc.(AMAT)が製造装置の前面に取り付けるFOUP搬送装置に,SEM(走査型電子顕微鏡)やパーティクル・モニターを搭載した製品の実機を出展した。今後,このほかの検査装置も統合していくとする。また,この製品にはストッカ機能が付いている。米KLA-Tencor Corp.は,同社の今後の300mm化戦略の一環として,製造装置に組み込める検査装置の開発を進めることを表明している。また,LSIメーカーのNECも検査装置メーカーと協力して製造装置に組み込める検査装置の開発を進めている。